PT-10SMT 石英射频等离子清洗机-小型真空等离子表面处理机-深圳三和波达机电科技有限公司

PT-10SMT 石英射频等离子清洗机

类别：小型真空等离子表面处理机

简介： 低温活化表面处理设备等离子去胶机晶圆等离子清洗装置小型等离子设备

全国咨询服务热线:0755-81478611

产品特点
应用领域

PT-10SMT
腔体材质：石英耐热玻璃
供电电源： AC220V
工作电流：整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)
射频电源功率： 0-300W/0-600W可调（射频匹配一体）
射频频率： 13.56MHz
频率偏移量：小于0.2KHz
特性阻抗： 50欧姆，自动匹配
真空度： 10pa-300Pa
气体路数：双路气体输入（高精密浮子流量计）
气体流量： 10—160ml/min(可调)
过程控制： PLC人机界面自动与手动方式
清洗时间： 1-9999秒钟可调
功率大小：10%-100可调
内腔尺寸：直径200×深度320mm 10L
外形尺寸： 650×550×580mm L×W×H
真空泵：飞越真空泵VRD-8（含油雾过滤器）
真空室温度：小于30°C

冷却方式：强制风冷

PT-10SMT 石英射频等离子清洗机

相关产品

订购：PT-10SMT 石英射频等离子清洗机